Inline Type장비는 수평으로 Glass가 각 챔버를 이동하면서 고온(0~800℃)의 온도영역에서 1장씩 Glass를 빠른속도로 처리할 수 있는 시스템입니다.
핵심기술
- High temperature heat treatment(＜800℃)
- Excellent temperature uniformity(within ±3℃내)
- Large area available(2~8세대 Glass)
- Warpage minimization
- Hot wall type : Minimize heat loss
- Low power consumption
