비아트론 열처리 공정
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TFT 공정순서
선수축
Buffer layer 증착
a-si layer 증착
탈수소화
결정화
Gate Oxide layer증착
Gate Metal증착
Ion Doping
활성화
Insulator layer 증착
S/D Metal 증착
Passivation layer 증착
수소화
절연막 증착
IGZO 증착
Active 열처리
IGZO패터닝
ESL 증착
ESL 열처리
ESL 패터닝
Glass
PI 코팅
HVCD
PI Curing
Oxide TFT
Process
LTPS TFT
Process