Flexible Panel Coating System
  • 제품소개
  • 제품현황
  • Flexible Panel Coating System
특징
1
대상 glass : 6G (17K/M)

2
코팅 물질 : 고점도 PI 용액
  - 점도 : 1,000cps ~ 20,000cps
  - 고형분 함유량 : 10~20v%
  - 솔벤트 : NMP

3
Coating 상태
  - 두께 : wet 60~260㎛, dry 6~20㎛
  - 균일도 : 전체 5%↓, edge : 8%↓ (@dry 16㎛)

적용공정
- Flexible Display용 PI Coating
특징
1
대상 glass : 6G (8K/M)

2
적용 공정 : 고점도 PI 의 코팅 후 가경화
  - 점도 : 1,000cps ~ 20,000cps
  - 가경화율 : ~40% (NMP 82% 기준)
  - 솔벤트 : NMP

3
코팅 성능
  - 진공 : ~0.1torr
  - 가열 : ~ 60 ℃
  - 이물 : 최소화

적용공정
- Flexible Display용 산화물 반도체 박막 코팅 및 열처리
특징
- 평면 IR 히터의 각 영역별 개별제어 가능
- 우수한 온도균일성
- 독자적인 Fume 배출 시스템
- 빠른 냉각 속도
- 낮은 전력 소비
적용공정
- Flexible AMOLED, 전자신문, 폴리이미드 경화
특징
1
대상 web : 3.5G (650㎜)

2
코팅 물질 : 저점도 용액
  - 점도 : 5cps ~ 200cps
  - 고형분 함유량 : 1~30 wt%
  - 솔벤트 : NMP, PGMEA

3
코팅 성능
  - 두께 : wet 5㎛, dry 50㎚
  - 균일도 : 전체 1%↓
  - 속도 : Max. 10 METER/MIN

적용공정
- Flexible Display용 산화물 반도체 박막 코팅 및 열처리