Flexible Panel Coating System
  • 产品介绍
  • 产品现况
  • Flexible Panel Coating System
特点
1
对应Glass: 6G(17K/M)

2
涂布对象: 高粘度PI药液
  - 粘度: 1,000cps~20,000cps
  - 固含量: 10~20v%
  - 溶剂: NMP

3
涂布状态
  - 厚度: wet 60~260um, dry 6~20um
  - 均一度: 整个5%↓,edge: 8% ↓(@dry 16um)

应用工艺
- Flexible Display用 PI Coating
特点
1
对应Glass: 6G(8K/M)

2
适用工艺: 高粘度PI涂布后软硬化
  - 粘度: 1,000cps~20,000cps
  - 软硬化率: ~40%(NMP82%基准)
  - 溶剂: NMP

3
功能
  - 真空:~0.1torr
  - 加热: ~60℃
  - 异物: 最少化

应用工艺
- Flexible Display用 氧化物半导体薄膜涂布及热处理
产品说明
PI特点有高耐热性,电器绝缘性,柔软性,不燃性. 阿波罗11号到月亮时穿着的太空服也同样采用了PI材料。
由于柔性OLED不仅上板而且下板也需要弯曲,只PI材料会满足弯曲的特性。
在玻璃基板上涂布液体PI后通过热处理进行硬化. 然后TFT Array沉积在PI膜上.
还有,制作透明 Polyimide Layer时主要因素为控制氧气浓度到100PPM以下.
通过维持100PPM以下,可以防止氧气原因的变黄现象.
而且, 只有收集在硬化当中发生的Fume才可以制作Poly-imide的柔性基板。

特点
- 平面IR Heater可以各个区域别控制
- 温度均一性优秀
- 独立排出Fume System
- 冷却速度快
- 消耗电力低
应用工艺
- Flexible AMOLED, 电子报刊,Polyimide硬化
特点
1
对应Glass: 3.5G(650mm)

2
涂布物质: 低粘度药液
  - 粘度: 5cps~200cps
  - 固含量: 1~30wt%
  - 溶剂: NMP, PGMEA

3
涂布 功能
  - 厚度:wet 5um, dry50nm
  - 均一度: 整个1% ↓
  - 速度: Max. 10 METER/MIN

应用工艺
- Flexible Display用 氧化物半导体薄膜涂布及热处理