1
对应Glass： 6G（17K/M）
2
涂布对象： 高粘度PI药液
- 粘度： 1,000cps~20,000cps
- 固含量: 10~20v%
- 溶剂： NMP
3
涂布状态
- 厚度： wet 60~260um， dry 6~20um
- 均一度： 整个5%↓，edge： 8% ↓（@dry 16um）
- Flexible Display用 PI Coating
1
对应Glass： 6G（8K/M)
2
适用工艺： 高粘度PI涂布后软硬化
- 粘度： 1,000cps~20,000cps
- 软硬化率: ~40%（NMP82%基准）
- 溶剂： NMP
3
功能
- 真空：~0.1torr
- 加热： ~60℃
- 异物： 最少化
- Flexible Display用 氧化物半导体薄膜涂布及热处理
PI特点有高耐热性，电器绝缘性，柔软性，不燃性. 阿波罗11号到月亮时穿着的太空服也同样采用了PI材料。
由于柔性OLED不仅上板而且下板也需要弯曲，只PI材料会满足弯曲的特性。
在玻璃基板上涂布液体PI后通过热处理进行硬化. 然后TFT Array沉积在PI膜上.
还有，制作透明 Polyimide Layer时主要因素为控制氧气浓度到100PPM以下.
通过维持100PPM以下，可以防止氧气原因的变黄现象.
而且, 只有收集在硬化当中发生的Fume才可以制作Poly-imide的柔性基板。
- 平面IR Heater可以各个区域别控制
- 温度均一性优秀
- 独立排出Fume System
- 冷却速度快
- 消耗电力低
- Flexible AMOLED， 电子报刊，Polyimide硬化
1
对应Glass： 3.5G（650mm）
2
涂布物质： 低粘度药液
- 粘度： 5cps~200cps
- 固含量: 1~30wt%
- 溶剂： NMP， PGMEA
3
涂布 功能
- 厚度：wet 5um， dry50nm
- 均一度： 整个1% ↓
- 速度： Max. 10 METER/MIN
- Flexible Display用 氧化物半导体薄膜涂布及热处理
