제품 포트폴리오
  • 제품소개
  • 제품현황
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[LTPS] A-SPC Crystallization
_FE-RTA (A-SPC결정화)
[LTPS] Pre-compaction
           (선수축)
[LTPS] Hydrogenation
           (수소화)
[LTPS] Polyimide
Slit Die Coater
(PI 슬릿다이 코터)
[LTPS] SGS Crystallization
_OE-RTA (SGS결정화)
[LTPS] Dopant Activation
           (도펀트 활성화)
[LTPS] De-Hydrogenation
           (Low-temp.)
           (저온탈수소화)
HVCD
(Flexible 기판 가경화)
[LTPS] De-Hydrogenation
           (high-temp.)
           (고온탈수소화)
[Oxide] IGZO Furnace
           (산화물 열처리)
[LTPS] Polyimide Curing
Furnace (Flexible PICF)
(폴리이미드 경화)
[Solar] TCO Coating
CIGS Selenization
(투명전극 코팅/CIGS셀렌화)
[LTPS] Dopant Activation
           (도펀트 활성화)
R2R System
(Flexible 기판 코팅 및 열처리)