Display INLINE BATCH PIC INLINE Inline Type设备是在Glass水平通过各个Chamber的同时，在高温区(0~800℃)内每次快速处理一张Glass的系统。 核心技术 High temperature heat treatment(＜800℃) Excellent temperature uniformity（within ±3℃以内） Large area available（第2~8代 Glass） Warpage minimization Hot wall type : Minimize heat loss Low power consumption 工艺介绍 进行预压、脱氢、活化、氢化。 SPEC 温度均匀度- within ± 3℃ 适用领域 LCD TFT OLED TFT 返回
