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BATCH

Batch Type设备是成批Glass横放进入后，能够在低温区（0~450℃）批量处理多张Glass的系统。

核心技术
  • High temperature heat treatment(＜450℃)
  • Excellent temperature uniformity(within ±3℃以内)
  • Large area available(2~8G Glass)
  • Hot wall type : Minimize heat loss
  • Low power consumption
  • High productivity
工艺介绍

进行脱氢、活化、氢化、低温PNL及Contact anneal。

SPEC

温度均匀度- within ± 3℃

适用领域

LCD TFT

OLED TFT

POLED TFT(LTPO)

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